台硕4030H全自动复合式影像测量仪精度高

1、工作环境 Working circumstance
1.1.温度(工作条件) Temperature(working condition)
工作温度： 20±2℃
温度变化: <0.5℃/h
仪器恒温时间： 48 hours
工件恒温时间： 24 hours
1.2 湿度Humidity： 55%－65%
1.3 清洁度Clearness
因测量机对静电和灰尘的影响特别敏感，故地面和墙面的设计应充分考虑防尘，抗静电。

1.4 振动要求 Vibration requirements
振动频率≦10Hz 振幅≦0.5μm
10Hz＜振动频率≦30Hz 振幅≦1μm
振动频率﹥30Hz 振幅≦3μm

1.5 气压 Air pressure
供气流量不小于120L/min(0.4 Mpa).
供气压力应大于0.6MPa.
     建议客户配备独立供气装置，此装置应包含除湿机等滤气装置，应起到给机台提供干燥、稳定的气源.

1. 整机*体化设计
2. X、Y轴伺服控制，定位*度*、速度快
3. 主体材料结构采用花岗岩，仪器稳定性更好
4. 具有快速自动对焦、自动寻边、自动测量功能
5. 自主开发QMS3D软件，功能强大，可满足客户不同测量需求
6. SPC数据处理分析，大批量治具测量
7. 程控恒流驱动式五环八区表面冷光光源，可适应复杂的工件测量

台硕4030H全自动复合式影像测量仪精度高